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Scheda bibliografica proveniente da importazione di metadati da altro sistema |
Tipo: |
Testo a stampa, Monografia |
Titolo: |
19. annual symposium on photomask technology : 15 - 17 September 1999, Monterey, California / Frank E. Abboud, Brian J. Grenon chairs/editors ; sponsored by BACUS, the international technical group of SPIE dedicated to the advancement of photomask technology |
Pubblicazione: |
Bellingham [Wa.] : SPIE, c1999 |
Descrizione fisica: |
2 v. ; 27 cm |
Titolo uniforme: |
19. annual symposium on photomask technology |
Numeri standard: |
ISBN 081943468X (print) |
Fa parte della collezione: |
Proceedings of SPIE ; 3873 |
Comprende: |
Part one of two parts Part two of two parts |
Altre responsabilità: |
Abboud, Frank E. Grenon, Brian J. Society of photo-optical instrumentation engineers : BACUS |
Classificazione Dewey: |
621.381'531 ed.21 |
Lingua della pubblicazione: |
Inglese |
Paese di pubblicazione: |
Stati Uniti d'America |
Codice identificativo: |
IT/ItRC/00060691 |
data di importazione: |
01-01-2014 |