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Tipo: Testo a stampa, Monografia
Titolo: 19. annual symposium on photomask technology : 15 - 17 September 1999, Monterey, California / Frank E. Abboud, Brian J. Grenon chairs/editors ; sponsored by BACUS, the international technical group of SPIE dedicated to the advancement of photomask technology
Pubblicazione: Bellingham [Wa.] : SPIE, c1999
Descrizione fisica: 2 v. ; 27 cm
Titolo uniforme: 19. annual symposium on photomask technology
Numeri standard: ISBN 081943468X (print)
Fa parte della collezione: Proceedings of SPIE ; 3873
Comprende: Part one of two parts
Part two of two parts
Altre responsabilità: Abboud, Frank E.
Grenon, Brian J.
Society of photo-optical instrumentation engineers : BACUS
Classificazione Dewey: 621.381'531 ed.21
Lingua della pubblicazione: Inglese
Paese di pubblicazione: Stati Uniti d'America
Codice identificativo: IT/ItRC/00060691
data di importazione: 01-01-2014

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